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龍崗發光(guāng)二極管裂紋導緻失效是爲什麽?

龍崗發光(guāng)二極管裂紋導緻失效是爲什麽?

  龍崗發光(guāng)二極管裂紋導緻失效是爲什麽?

  1.調查發現

  調查裂紋産生(shēng)的過程和原因,重複激光(guāng)龍崗發光(guāng)二極管的原始組裝過程,并檢查每個過程中的樣品以觀察芯片裂紋。在芯片粘合和合金化過程之後,檢查員(yuán)在大(dà)多數選定的樣品中發現了裂紋,并認爲這些裂紋是在芯片粘合和合金化過程中産生(shēng)的。

  在芯片鍵合和合金化過程中,激光(guāng)龍崗發光(guāng)二極管芯片鍵合到Au-Sn焊接的副支架上,需要加熱(rè)和冷(lěng)卻。以這種方式,在該過程中産生(shēng)底座和芯片之間的熱(rè)應力。因此,研究人(rén)員(yuán)進行了熱(rè)應力分(fēn)析,以找出裂縫的原因。

  分(fēn)析表明,裂紋早期出現在金剛石副支架上,這是因爲金剛石的線膨脹與GaAs在芯片中的線膨脹有很大(dà)不同。證明了金剛石是開裂的主要因素。

  2.這些結果闡明了光(guāng)電失效過程:

  由于芯片鍵合和合金化過程中金剛石子支架上的熱(rè)應力,芯片和金剛石子支架之間的邊緣産生(shēng)微裂紋,并延伸到芯片。裂紋很小,不會導緻故障。

  由于溫度循環試驗中的熱(rè)應力,微裂紋不斷增多,大(dà)到足以破壞芯片的空腔,終造成光(guāng)電失效。

  工(gōng)作(zuò)溫度的升高會大(dà)大(dà)加速激光(guāng)龍崗發光(guāng)二極管可(kě)靠性的惡化。爲了保證器件(jiàn)的高可(kě)靠性,需要防止芯片有源層的溫度升高。

  3.有兩種方法可(kě)以實現設備的溫度控制:

  一種是用長腔。增加芯片腔的長度可(kě)以降低電流密度。龍崗發光(guāng)二極管芯片腔的長度設定爲1200微米.

  另一種方法是使用菱形子括号。金剛石的熱(rè)導率比矽(Si)的熱(rè)導率高,所以可(kě)以提高散熱(rè)效率。

  4.光(guāng)電故障

  經過溫度循環測試,發現部分(fēn)樣品光(guāng)電失效。這些樣品在測試前已經通過了外觀檢查和光(guāng)電特性評估測試。研究人(rén)員(yuán)發現,該設備的輻射不會随着工(gōng)作(zuò)電流線性變化。他(tā)們用光(guāng)學顯微鏡觀察了失效樣品中的芯片,發現芯片中的一條裂縫将芯片分(fēn)成了兩部分(fēn)。

  5.裂化過程的研究

  爲了搞清楚出現裂紋的過程,研究人(rén)員(yuán)重複了之前的組裝過程,然後對每個過程中選取的樣品進行目測,觀察裂紋。通過蝕刻芯片可(kě)以觀察到内部裂紋,觀察結果如(rú)下:

  (1)在芯片鍵合和合金化過程之前,芯片上沒有裂紋;

  (2)在芯片鍵合和合金化之後,在大(dà)多數選擇的樣品中觀察到芯片裂紋(包括内部裂紋)。

  (3)在溫度循環測試之前,在具有内部微裂紋的芯片上沒有發現光(guāng)電失效;

  (4)溫度循環後,發現樣品不合格。

  這些結果闡明了龍崗發光(guāng)二極管裂紋産生(shēng)的過程以及從(cóng)裂紋産生(shēng)到光(guāng)電失效的過程:

  (1)在芯片鍵合和合金化過程中産生(shēng)芯片裂紋;

  (2)芯片鍵合和合金化過程中産生(shēng)的芯片裂紋太小,不會導緻失效。但(dàn)由于溫度循環中的熱(rè)應力,裂紋不斷擴展,穿過發射線,導緻光(guāng)電失效。


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